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薄膜生長設備
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M-3手持式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試材料電阻率/方塊電阻的多用途、高性價比測量儀器。廣泛適用于半導體材料廠、科研單位、高等院校四探針法對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。
振動樣品臺主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀、VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀。用于對粉末樣品的濺射鍍膜使用,由于樣品臺的不斷振動,使粉末顆粒樣品不斷進行翻轉,從而使粉末顆粒的整個外表面全部濺射上所需要的薄膜材料,或用薄膜材料將粉末進行包覆。
掩膜版結構簡單,主要與我公式制造的GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀、GSL-1800X-ZF2蒸發鍍膜儀、VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀、VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀、GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀、GSL-1100X-SPC-15E-LD小型蒸鍍儀、GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀等蒸發鍍膜儀和濺射鍍膜儀配套使用。
TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測厚儀,可快速精確地測量透明或半透明薄膜的厚度,其測量膜厚范圍為15nm-50um,儀器所發出測試光的波長范圍為400nm-1100nm。此款測試系統理論基礎為鏡面反射率,并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧,方便于在實驗室中擺放和使用。
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