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    當前位置:首頁  >  產品中心  >  混氣系統、真空系統、水冷系統  >  混氣系統  >  GSL-4Z混氣系統4路質子GSL-4Z

    混氣系統4路質子GSL-4Z

    簡要描述:混氣系統4路質子GSL-4Z是用于控制一種到四種的氣體流經真空密封的管式爐,這種氣體控制系統安裝在移動架內,管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥,可以用于CVD系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響,在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用,廣泛應用于電子工藝設備,如擴散、氧化、外延

    • 產品型號:GSL-4Z
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2016-04-15
    • 訪  問  量:3348

    詳細介紹

     

    產品型號

      混氣系統4路質子GSL-4Z

    主要特點

      精度高,運行穩定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

    技術參數

      1、電源:185-245V  50Hz

      2、zui大輸出功率:18W

      3、控制范圍:控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、

                                控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM

      4、zui大壓力:3×106  Pa

      5、準確度:±1%FS

      6、線性:±0.5-1.5%

      7、重復精度:±0.2%FS

      8、響應時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

      9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

      10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

      11、混氣罐:Φ80mm×120mm

      12、截止閥:Φ1/4″,316不銹鋼針閥

      13、工作溫度:5-45

    產品規格

      尺寸:600mm×600mm×650mm

     

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