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當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > CVD及PECVD系統(tǒng) > CBD/PECVD系統(tǒng) > OTF-1200X-80-C2HV高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV
簡(jiǎn)要描述：高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，Z高工作溫度可達(dá)1200℃，混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。
產(chǎn)品型號(hào)：OTF-1200X-80-C2HV廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2016-04-12訪 問(wèn) 量：2839產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號(hào) | 高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV |
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。 2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。 3、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序。 4、質(zhì)量流量系統(tǒng)采用316不銹鋼制作而成。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源：AC 220V 50/60Hz 2、石英管：外徑Φ80mm，內(nèi)徑Φ75mm，長(zhǎng)1000mm 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯） 4、加熱區(qū)域：440mm 5、恒溫區(qū)域：150mm 6、工作溫度：zui高1200℃，連續(xù)工作1100℃ 7、zui大升降溫速率：20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：K型 |
高真空機(jī)組 1、殼體：600mm×600mm×700mm，zui大承重275kg 2、真空泵：德國(guó)Pfeiffer真空泵 3、顯示屏：LCD數(shù)字顯示 4、抽氣速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s 5、工作范圍：1000mtorr-10-7mtorr 6、極限：10-8mtorr（無(wú)泄漏） | |
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) 1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC208-240V 50/60Hz 2、功率：18W 3、尺寸：600mm×600mm×700mm 4、混氣箱：Φ80mm×120mm |
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