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    精密液體氣相發生器

    簡要描述:精密液體氣相發生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統,其液體流量是通過數字液體泵來控制,Z大流量為80ml/min,精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統后,被系統里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠導出多種液體,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多種有機物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研

    • 產品型號:
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2016-04-12
    • 訪  問  量:1630

    詳細介紹

     

    產品型號

     精密液體氣相發生器

    主要特點

       1流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。

       2采用30段程序化控溫。

       3氣體流速通過浮子流量計控制。

       4配有壓力表,可測出液氣混合罐中的氣體壓強。

       5配有兩個不銹鋼針閥,以控制氣體進出。

       6、可與本司所有管式爐和CVD系統相連接。

       7、已通過CE認證。

    技術參數

       1電源:單相AC208V-240V  50Hz/60Hz

       2、功率:1000W

       3、蠕動泵:精確度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可調)

       4zui高工作溫度:300

       5控溫精度:±1

       6、浮子流量計:0-2000ml/min(可調)

       7、出氣口:外徑1/4

    產品規格

     尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg

    可選配件

      加熱帶(纏繞在外接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。)

     

      

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