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    VTC-200PV真空旋轉涂膜機

    簡要描述:VTC-200PV真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。本機可以對涂膜機腔室進行抽真空,使樣品在*真空的狀態下進行涂膜,適用于在空氣中易氧化變質的薄膜材料的使用。工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數不同,使設備緩慢提升速

    • 產品型號:
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2022-09-16
    • 訪  問  量:1727

    詳細介紹

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    產品簡介:VTC-200PV真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。本機可以對涂膜機腔室進行抽真空,使樣品在*真空的狀態下進行涂膜,適用于在空氣中易氧化變質的薄膜材料的使用。工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數不同,使設備緩慢提升速度限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節約材料。具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優點,主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

    產品名稱

    VTC-200PV真空旋轉涂膜機

    產品型號

    VTC-200PV

    安裝條件

    本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

    1、水:設備配有進出水口

    2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

    3、氣:不需要

    4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

    5、通風裝置:需要

    主要特點

    1、設有12組程序,每組包含6個運行階段,每段增減速率設置范圍:100—2000rpm/s,每段時間范圍:0—60s。

    2、樣品可采用真空吸附的方式進行固定,也可采用粘結或夾持的方式進行固定,操作簡便。

    3、吸盤真空度可以達到-0.08MPa。

    4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。

    5、根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

    6、電機采用直流無刷電機,無級調速,可靠性高,適應性強,維修與保養簡單,噪音低,震動小,運轉平穩,啟動快速穩定,加速后運行平穩,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

    7、當用真空吸附方式固定樣品時采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。

    8、可在惰性氣體氣氛下進行涂層

    9、可在真空狀態下進行涂層,此時需要用粘接基片或夾持基片的方式對被涂基片進行固定。

    10、腔體通體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優異的抗應力開裂性能。

    11、全英文操作系統。

    12、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止.

    13、控制器采用控制箱,液晶顯示數值,更直觀可靠。

    技術參數

    1、功率:350W/24V

    2、轉速:500rpm-6000rpm

    3、時間:1s-60s

    4、腔體真空度可達1Torr(VRD-8機械泵連續工作)

    產品規格

    尺寸:?250mm×290mm;重量:25kg

    標準配件

    1

    真空吸盤

    1個

    2

    夾持吸盤

    1個

    3

    無油真空泵

    1臺

    可選配件

    VRD-16機械泵

    移液器

    其它尺寸的真空吸盤

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